Производство полупроводниковых приборов

В учебном пособии описаны основные типы полупроводниковых приборов и интегральных схем, принцип действия, производство, измерения и испытания. Приведены сведения о материалах, применяемых в полупроводниковом производстве, контроле их качества и требованиях к ним. Третье издание переработано и дополнено описанием новых технологических методов, используемых при производстве полупроводниковых приборов. Более полно рассмотрены прецизионная обработка полупроводниковых материалов, способы защиты поверхности р — n переходов нитридными и стеклянными пленками, технологические приемы изготовления фотошаблонов, корпусов и элементов интегральных схем. Книга предназначена в качестве учебника для подготовки рабочих полупроводникового производства.